產品與服務

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設備監控系統整合規劃

What can we do?

壓力、溫度、轉速、流量

確保製程中符合Recipe要求，保持客戶端良率，為客戶帶來良好的產品品質

電流

監控馬達電流是否有異常升降, 可提供判斷是否預先保養更換

影像辨識

利用桶槽液體顏色比例來確保濃度是否符合製程需求

音頻

監控Robot移動過程中是否有碰撞情況，並即時收集分貝資料上傳

位置

利用光學尺對Motor Encoder 來即時監控製程位置是否正確

震動

監控是否有碰撞情況，提前發現動件機構是否需保養更換

作動

監控機構Open/Close開闔，建立延時判斷設定來確保開闔是否順暢

鴻伍的實際案例

Lead screw detector

客戶端的需求:

  • 若機台傳送機構異常(如皮帶斷裂，鬆動或軸承損壞…. )可即時發現並傳送interlock 訊號給機台。
  • 減少及防止 wafer position異常。

利用哪些專業技術:

    • 偵測機台端馬達轉動帶動機構時螺桿與馬達轉動距離與機構位移距離是否一致。
    • 馬達轉動距離與機構位移距離誤差值可設定。
    • 隨時偵測誤差值過大且大於設定時間。

    Robot 震動偵測

    客戶端的需求:

    • Effector Robot Blade在回到原本位置時，沒有到定位，在Cooling  Pad上升把Effector Robot往上頂，Cooling Pad下降後，造成Effector Robot上下震動，客戶希望加裝震動Sensor在Robot上方偵測Robot的震動。

    利用哪些專業技術:

      • 在視窗口加裝紅外線測距Sensor，並抓取控制Cooling Pad的馬達訊號。
      • Gauge真空數值超過設定值會輸出on/off訊號，當偵測震動CMD訊號。

      Multi

      客戶端的需求:

      • 各項數值偵測，並確保各數值有在客戶需求中
      • 各項安全措施防護，確保客戶產品不受影響

      利用哪些專業技術:

        • 使用各式專業偵測Sensor搭配控制器偵測客戶所需
        • 具有多功能偵測整合等功能，針對客戶各項功能偵測需求調整